Workshop Scanning Electron Microscope (SEM)-2018

Workshop Scanning Electron Microscope (SEM)-2018

Program Studi Fisika FMIPA Universitas Negeri Jakarta

Scanning Electron Microscope (SEM) adalah salah satu alat yang memiliki banyak manfaat untuk melakukan analisis morfologi dan komposisi dari suatu bahan. SEM banyak dimanfaatkan dibidang fisika, biologi, kimia, dan material. Prinsip kerja SEM secara umum adalah, berkas electron dihasilkan oleh filamen, berkas electron difokuskan menggunakan lensa magnetic, electron menumbuk sampel, electron yang terhambur ditangkap oleh detector, dan morfologi permukaan sampel dapat dilihat di layar monitor. Terdapat dua jenis electron yang dapat dideteksi yaitu backscattered electron (BSE) dan secondary electron (SE). BSE terjadi ketika electron menumbuk atom-atom dari sampel secara elastic sedangkan SE adalah electron yang terhambur akibat tumbukan tidak elastic. Apabila dibandingkan, energy BSE lebih besar dibandingkan SE.

Sampel yang dapat dianalisis menggunakan SEM harus bersifat konduktif. Sampel non conductif dapat pula diuji menggunakan SEM setelah dilapisi oleh konduktor biasanya adalah emas (Au). Selanjutnya sampel yang sudah siap untuk diuji diletakan di dalam reactor dengan kondisi vakum. Kondisi vakum yang biasanya digunakan selama pengambilan gambar SEM berada di rentang medium (10-3 Torr) hingga ultrahigh (10-10 Torr).

Program studi Fisika sangat memahami bahwa selain penguasaan konsep yang diajarkan oleh dosen kepada mahasiswa dalam perkuliahan, secara factual mahasiswa perlu dibekali kemampuan eksperimen yang mumpuni. Workshop SEM adalah salah satu program pengembangan program studi yang sudah dilakukan dalam kurun waktu dua tahun ini.

Pada tanggal 20-21 April 2018, workshop SEM di program studi Fisika telah dilaksanakan selama dua hari. Pada hari pertama, workshop dibuka oleh ketua program studi Ibu Dr. Widyaningrum Indrasari, M.Si, selanjutnya pembagian kelompok eksperimen yang dipandu oleh Bapak Fajrin. Mahasiswa yang sudah terbagi ke dalam kelompok kecil yang terdiri dari 5 orang selanjutnya dipandu menggunakan SEM oleh Bapak Fajrin selaku Pranata Laboratorium Pendidikan. Di sore hari sekitar pukul 14.00, pemberian materi berupa konsep dasar SEM dan metode analisis diberikan oleh Bapak Dr. Iwan Sugihartono selaku dosen program studi Fisika dengan bidang penelitian material semikonduktor. Pemberian materi bertujuan agar mahasiswa memahami bagaimana melakukan analisis morfologi, topografi, dan komposisi dari sampel yang sudah dianalisis menggunakan SEM. Sedangkan pada hari kedua, mahasiswa yang sudah menyelesaikan laporan dan memahami analisis SEM mempresentasikan laporannya di depan penguji yang terdiri dari Dr. Iwan dan Bapak Fajrin. (red: isugihar2018)

 

Written by