Pada riset ini, batang ZnO (Zinc Oxide rods) yang merupakan material pendeteksi objek gas ditumbuhkan di atas permukaan mikrokantilever dengan teknik hidrotermal. Sintesis ZnO rods ini meliputi dua proses, yaitu proses pelapisan lapisan benih (seed layer) menggunakan Zinc Asetate Dihydrate dengan metode dip-coating dan proses penumbuhan ZnO rods menggunakan Zinc Nitrate Tetrahydrate pada suhu 95°C dengan variasi waktu 1 jam, 2 jam, 3 jam, 4 jam, 5 jam dan 6 jam. Kondisi pengeringan baik untuk lapisan benih dan penumbuhan ZnO rods dilakukan pada suhu 120 °C selama 2 jam. Karakterisasi morfologi ZnO rods dilakukan dengan Field Emission-Scanning Electron Microscopy (FESEM), komposisi unsur kimia dilakukan dengan Energy Dispersive Spectrometry (EDS), struktur kristal dilakukan dengan X-ray Diffraction (XRD) dan analisa gugus fungsi dilakukan dengan Fourier Transform Infrared (FTIR). Hasil karakterisasi memperlihatkan bahwa terbentuknya Zinc Oxide dengan bentuk heksagonal yang dapat dikonfirmasi dari hasil FE-SEM dan XRD. Hasil FE-SEM menunjukkan variasi waktu penumbuhan berpengaruh pada ukuran diameter yang terbentuk di atas mikrokantilever. Semakin lama waktu penumbuhan, semakin besar ukuran diameter ZnO rods. Korelasi logam oksida (metal oxide) ditunjukkan pada spektrum bilangan gelombang sekitar 540-548 cm-1 tersebut diprediksi merupakan absorpsi dari pembentukan ikatan Zn-O.